2013

2013年，中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电中心。微透镜列阵光刻研究与应用，国家863

2016

2016年，微光学自由面曲LED精确配光技术开发及应用，重庆市。研制的UVLED光源模组，应用于蓝思、深蓝、华灿等半导体产线

2021

2021年10，苏州中特微成立，研制的半自动接触接近式光刻机和移动掩模光刻机，应用于得力集团、迈时光电等头部企业

2023

2023年，研制的全自动接近式光刻机应用于三安光电、兆驰股份、华灿光电等上市企业，获得风险投资，展开直写式光刻机研制

2026

2026年，半自动/全自动接近式光刻机在LED/MiniLED、MEMS传感器、光学器件等领域批量出货过百台，获得A轮融资，加速各类型近紫外光刻机国产化替代进程