2013

2013年，中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电中心。微透镜列阵光刻研究与应用，国家863

2016

2016年，微光学自由面曲LED精确配光技术开发及应用，重庆市。研制的UVLED光源模组，应用于蓝思、深蓝、华灿等半导体产线

2019

2019年，研制的手动和半自动接触接近式光机，应用于长江师范和中科院等高校和院所

2021

2021年10，苏州中特微成立，研制的半自动接触接近式光刻机和移动掩模光刻机，应用于得力集团、迈时光电等头部企业

2023

2023年，研制的全自动接近式光刻机应用于三安光电、兆驰股份、华灿光电等上市企业，研制步进投影式光刻机